薄膜表面缺陷在线检测系统

　　赛默斐视薄膜表面缺陷在线检测系统是一款针对薄膜表面缺陷进行检测的系统，在生产中主要用于各种不同种类薄膜的缺陷检测，包括：气泡、划痕、灰尘、斑点等。该系统采用赛默斐视自主研发的智能图像处理算法，可有效地识别膜表面的缺陷，如：气泡、划痕、灰尘、斑点等，具有精度高，速度快，可靠性高，不会对产品造成损坏的优点。

　　该系统采用相关系数法准确求出薄膜灰度图像的最小重复周期，根据最小重复周期确定两个比对图像块并求出差值图像，再将差值图像二值化再进行形态学处理，最后经过面积约束条件找出薄膜瑕疵所在位置。充分利用FPGA并行处理的优势，提高了图像处理的速度。实践应用证明，该系统能够在300 m/min的薄膜生产线上成功检测出瑕疵面积仅10个像素的瑕疵。